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多晶硅納米薄膜E+E壓力傳感器設(shè)計(jì) 半導(dǎo)體E+E壓力傳感器在現(xiàn)代社會(huì)中具有廣泛的應(yīng)用,采用新材料是提高傳感器性能的有效途徑。研究結(jié)果表明多晶硅納米薄膜（PSNF）具有比普通多晶硅薄膜更為*的壓阻特性。為使這種薄膜在傳感器上得到有效應(yīng)用,對(duì)已有半導(dǎo)體傳感器設(shè)計(jì)進(jìn)行系統(tǒng)研究,充分利用材料的壓阻特性,給出了PSNFE+E壓力傳感器設(shè)計(jì)方法,采用常規(guī)工藝制作了傳感器芯片,測(cè)試結(jié)果表明達(dá)到設(shè)計(jì)目標(biāo)。

煤礦支護(hù)墻監(jiān)測(cè)的光纖光柵E+E壓力傳感器研究 煤礦巷道填充墻對(duì)頂板的支護(hù)是確保煤礦正常作業(yè)的重要措施之一,因而利用E+E壓力傳感器對(duì)支護(hù)墻所承受壓力的監(jiān)測(cè)顯得尤為重要。傳統(tǒng)的礦壓觀測(cè)儀多為機(jī)械式、液壓式或其它電測(cè)式,需要在測(cè)量現(xiàn)場(chǎng)配備電源,同時(shí)具有數(shù)據(jù)不能遠(yuǎn)距離傳輸?shù)热秉c(diǎn)。

E+E壓力傳感器的溫度特性及其校驗(yàn)系統(tǒng) E+E壓力傳感器性能易受溫度變化的影響,從而增加了測(cè)量結(jié)果的誤差。設(shè)計(jì)了一種變溫E+E壓力傳感器校驗(yàn)系統(tǒng),能夠在-80℃（環(huán)境溫度、0-0.8MPa壓力范圍內(nèi)對(duì)E+E壓力傳感器進(jìn)行校驗(yàn)。

E+E微壓力傳感器的設(shè)計(jì)與制作工藝研究 E+E微壓力傳感器是在微機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域Z早開始研究并且產(chǎn)業(yè)化的微機(jī)電器件之一,微機(jī)電系統(tǒng)以微加工工藝為重點(diǎn)研究?jī)?nèi)容。主要對(duì)E+E微壓力傳感器的相關(guān)部分進(jìn)行設(shè)計(jì),并在研究相關(guān)微加工工藝的基礎(chǔ)上制作了一種驗(yàn)證性的壓阻式E+E微壓力傳感器。

薄膜的制備及超高壓E+E壓力傳感器的研制 柴油機(jī)電控高壓共軌噴射系統(tǒng)由電控系統(tǒng)和燃油供給系統(tǒng)兩部分組成,電控系統(tǒng)由傳感器、電子控制單元（ECU）和執(zhí)行機(jī)構(gòu)三部分組成。傳感器是共軌系統(tǒng)核心組成部分之一,而軌壓傳感器又是眾多傳感器中的核心傳感器。

高溫E+E壓力傳感器設(shè)計(jì)與工藝實(shí)驗(yàn)研究 高溫惡劣條件下的壓力測(cè)量正逐步受到人們的重視。是Z有希望應(yīng)用于這方面的第三代寬禁帶半導(dǎo)體材料。它具有耐高溫、耐壓高和抗輻射的特點(diǎn)，特別適用于制作高溫E+E壓力傳感器。國(guó)外已經(jīng)有眾多團(tuán)隊(duì)展開了研究，制作了光學(xué)式、電容式和壓阻式的SiCE+E壓力傳感器。

SIMOX高溫E+E壓力傳感器的技術(shù)研究 高溫E+E壓力傳感器是指其工作溫度高于125℃的E+E壓力傳感器。高溫E+E壓力傳感器以其優(yōu)良的高溫工作能力在E+E壓力傳感器中一直受到高度重視，是傳感器研究 的重要領(lǐng)域之一，也是各國(guó)政府所努力掌握的高技術(shù)之一。

真空微電子E+E壓力傳感器陣列集成系統(tǒng) 真空微電子E+E壓力傳感器是一種新型的E+E壓力傳感器，具有靈敏度高、溫度穩(wěn) 定性好、體積小、抗輻射、制備過(guò)程與匯工藝相兼容等優(yōu)點(diǎn)，在航空航天、汽車、機(jī)器人等領(lǐng)域有著很好的應(yīng)用前景。提出并研制了一種能測(cè)量壓力分布的真空微電子E+E壓力傳感器陣列與薄膜鉑電阻溫度傳感器的集成系統(tǒng)。

聚酰亞胺金屬圖形化的柔性E+E壓力傳感器研究 近幾年柔性電子器件快速發(fā)展,在顯示屏,機(jī)器人技術(shù)和醫(yī)學(xué)治療等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。聚合物是柔性器件的重要組成部分,不僅提供柔性支撐,更是一種功能性材料,可以產(chǎn)生、轉(zhuǎn)移并處理機(jī)械、電等信號(hào)。以聚酰亞胺薄膜（PI）為基礎(chǔ)材料,研究了通過(guò)離子交換在其表面實(shí)現(xiàn)金屬圖形化的工藝,并基于該工藝,在柔性PI上制作了壓力三種傳感器,測(cè)試傳感器的性能。

深海環(huán)境下活塞式壓力平衡裝置及E+E壓力傳感器 對(duì)于深海壓力探測(cè),必須既能承受和測(cè)量深海大壓力,又能測(cè)量微小的壓力變化,這是海洋E+E壓力傳感器所面臨的大測(cè)量范圍與高靈敏度之間的難題。針對(duì)這一問題做了以下研究。E+E壓力傳感器性能易受溫度變化的影響,從而增加了測(cè)量結(jié)果的誤差。

熱激勵(lì)氮化硅諧振梁E+E壓力傳感器研究 諧振器件通過(guò)檢測(cè)振動(dòng)元件的諧振頻率或振幅的變化來(lái)測(cè)量應(yīng)變、應(yīng)力、加速度、壓力、質(zhì)量變化以及流量等，廣泛應(yīng)用于力學(xué)量傳感器中。機(jī)械諧振式傳感器精度高、信號(hào)以及頻率輸出適于計(jì)算機(jī)信息處理，而且其信號(hào)輸出取決于機(jī)械參數(shù)，抗電干擾能力強(qiáng)，穩(wěn)定性好。

機(jī)動(dòng)車E+E壓力傳感器自動(dòng)測(cè)試臺(tái)控制系統(tǒng) 闡述了以工業(yè)控制計(jì)算機(jī)為核心、采用PCI總線微機(jī)插卡的設(shè)計(jì)方法、對(duì)機(jī)動(dòng)車用集成相對(duì)E+E壓力傳感器MLX90807和集成E+E壓力傳感器MLX90808進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量，并對(duì)其進(jìn)行調(diào)理補(bǔ)償?shù)淖詣?dòng)測(cè)試系統(tǒng)的硬件設(shè)計(jì)、單片機(jī)固件程序設(shè)計(jì)和PCI總線驅(qū)動(dòng)程序的設(shè)計(jì)。

多鐵納米纖維的E+E壓力傳感器研究 壓電式E+E壓力傳感器是MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）器件中應(yīng)用廣泛的一類,其敏感材料多為塊體和薄膜。與塊體和薄膜相比,懸空的多鐵納米復(fù)合纖維具有很大的長(zhǎng)徑比,可以將由壓電效應(yīng)引起的位移放大,從而有可能提高傳感器性能。

新型微納結(jié)構(gòu)的柔性E+E壓力傳感器 隨著信息社會(huì)的發(fā)展,物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的不斷進(jìn)步,人們對(duì)周邊環(huán)境信息的采集深度與廣度不斷提升,柔性E+E壓力傳感器作為一類十分重要的信息采集器件得到越來(lái)越廣泛的應(yīng)用,使用數(shù)量已非常可觀。

擴(kuò)散硅E+E壓力傳感器的有限元模擬與研究 隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的高速發(fā)展,汽車電子化、智能化的程度越來(lái)越高,傳感器作為汽車控制系統(tǒng)的關(guān)鍵器件,其使用數(shù)量和技術(shù)水平?jīng)Q定了汽車控制系統(tǒng)的性能。主要研究了一種擴(kuò)散硅E+E壓力傳感器,該傳感器以硅薄膜為彈性膜,利用光刻、掩膜、濺射等微加工工藝和隔離封裝方法制成。

高溫高精度E+E壓力傳感器的數(shù)據(jù)融合技術(shù)研究 基于主要研究高溫高精度E+E壓力傳感器敏感元件的材料及其設(shè)計(jì)過(guò)程和制造工藝；溫度傳感器的NTC電阻器的制造方法及其工藝過(guò)程；USB數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的設(shè)計(jì)；數(shù)據(jù)融合算法的研究和系統(tǒng)上位機(jī)界面軟件設(shè)計(jì)。

雙量程E+E壓力傳感器的動(dòng)態(tài)特性研究 大推力比固體火箭發(fā)動(dòng)機(jī)在航空航天領(lǐng)域應(yīng)用比較廣泛,其推力的測(cè)量是試驗(yàn)研究工作中一項(xiàng)非常重要的內(nèi)容,為發(fā)動(dòng)機(jī)的性能分析提供原始參數(shù),為調(diào)整裝藥參數(shù)和改進(jìn)推進(jìn)劑使之全面滿足設(shè)計(jì)要求提供了依據(jù)。準(zhǔn)確測(cè)量大推力比固體火箭發(fā)動(dòng)機(jī)的推力參數(shù)是研制火箭發(fā)動(dòng)機(jī)成敗的關(guān)鍵。

電熱激勵(lì)揩振式硅微梁E+E壓力傳感器特性研究 微結(jié)構(gòu)諧振式E+E壓力傳感器是一種用頻率變化來(lái)反映外界壓力變化的傳感器件，因其尺寸小、精度高、易于與數(shù)字設(shè)備接口而具有廣闊的應(yīng)用前景。對(duì)電熱激勵(lì)諧振式硅微梁E+E壓力傳感器的開環(huán)／閉環(huán)特性、測(cè)試方法及便攜式壓力測(cè)試儀的設(shè)計(jì)和研制進(jìn)行了深入研究。

基于倒裝技術(shù)的MEMS電容式E+E壓力傳感器研究 MEMSE+E壓力傳感器在工業(yè)生產(chǎn)、醫(yī)療衛(wèi)生、環(huán)境監(jiān)測(cè)以及科學(xué)研究等眾多領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。電容式E+E壓力傳感器是MEMSE+E壓力傳感器的一種主要類型,其根本原理是將壓力變化值轉(zhuǎn)換為電容的變化。

硅微諧振試E+E壓力傳感器設(shè)計(jì)與制作 硅微諧振式E+E壓力傳感器是Z近剛發(fā)展起來(lái)的具有靈敏度高、性能穩(wěn)定、體積小、功耗低等優(yōu)點(diǎn)的新型傳感器件,其輸出的頻率信號(hào)可直接與數(shù)字接口相連，克服了傳統(tǒng)壓阻式E+E壓力傳感器抗干擾性差的缺點(diǎn)。