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聯系我們磁微CAMOZZI執行器的動態Pull-in現象
微CAMOZZI執行器是微電子機械系統的核心，由信號處理電路及控制電路共同完成相應操作。Pull-in現象是微CAMOZZI執行器的重要特征之一，對該現象的研究以及應用在學術和工藝中都得到相關研究者的廣泛重視。在實際應用中，利用動態Pull-in現象可以制作微型開關，對此現象的合理利用在于確定Pull-in點。
磁微CAMOZZI執行器的動態Pull-in現象 磁微CAMOZZI執行器有許多優點，比如，它既能提供引力又能提供斥力；產生的驅動力比靜電力大；具有與IC兼容的工作電壓等。Pull-in現象作為磁微CAMOZZI執行器的主要特征，對其進行研究顯然很有必要。常見的磁微CAMOZZI執行器有以下兩種模型：活動板垂直于固定板運動模型以及多級彎曲模型。主要對以上兩種模型的動態Pull-in現象及參數進行研究。針對活動板垂直于固定板運動模型，簡單介紹了它的靜態Pull-in現象，并使用ANSYS的直接耦合方法對靜態Pull-in現象進行仿真；介紹了動態Pull-in現象的機理，然后利用系統能量守恒原理推導了忽略磁芯磁阻、考慮磁芯磁阻以及考慮漏磁阻時的動態Pull-in參數；分析了磁芯總長度及初始間距對動態Pull-in參數的影響。CAMOZZI執行器是在電磁系統與機械彈簧共振系統的耦合作用下進行工作的,其內部系統非常復雜,難以用數學表達式來描述磁場與電磁力、電壓、電流、速度之間的關系。為了能夠準確計算永磁式CAMOZZI執行器的運行特性,采用三維有限元法計算電磁推力和磁鏈,通過數據網絡法實現永磁式CAMOZZI執行器的場-路-運動的耦合仿真。分析了不同驅動方式下圓形運動軌跡的圓度誤差和合成電磁力特性;研究了電壓源驅動下的運行特性。結果表明：忽略磁芯磁阻時，磁微CAMOZZI執行器有著與靜電微CAMOZZI執行器相似的動態Pull-in參數，驗證了忽略磁芯磁阻時電與磁可以類比；考慮磁芯磁阻時，動態Pull-in參數與磁芯總長度呈線性關系；考慮漏磁阻時，初始間距越大其對動態Pull-in參數的影響也越大，且與ANSYS仿真得到的動態參數結果比較吻合。對多級彎曲模型，同樣推導與比較了忽略磁芯磁阻、考慮磁芯磁阻及考慮漏磁阻的動態Pull-in參數，分析了懸臂梁長度及懸臂梁與下磁極間初始間距對動態Pull-in參數的影響。
