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差線柵E+E位移傳感器原理與參數(shù)設(shè)計(jì)準(zhǔn)則
常用E+E位移傳感器往往利用其運(yùn)動(dòng)過程中某種物理量有規(guī)律的周期性變化而形成沿空間均勻分布的“柵線”，從而可以通過對柵線的計(jì)數(shù)而得到位移量。如光柵利用莫爾條紋的明暗變化，磁柵利用錄制的NS極磁場變化，齒柵利用齒頂齒槽引起測頭磁通量變化，容柵利用極板面積變化引起電容量的周期性變化等。

差線柵E+E位移傳感器原理與參數(shù)設(shè)計(jì)準(zhǔn)則
柵式傳感器的一個(gè)共同問題在于空間柵線數(shù)難以進(jìn)一步提高，因此必須對原始信號再加以電子細(xì)分才能滿足工程應(yīng)用的分辨力要求，這會(huì)引起一些新的問題。如何提高原始柵線數(shù)仍值得人們探索，在機(jī)械“刻線”已難以進(jìn)一步提高的情況下，還有沒有別的方法? 我們可以借鑒一種已有的思想：利用“級數(shù)差”來實(shí)現(xiàn)某種“放大”。差線柵E+E位移傳感器具有測量速度快、非接觸等優(yōu)勢,廣泛應(yīng)用于許多測量與檢測領(lǐng)域,為了提高差線柵E+E位移傳感器的測量精度,針對目前測量誤差存在的不足,提出一種新型的差線柵E+E位移傳感器誤差補(bǔ)償方法。例如“差頻測量系統(tǒng)”利用柵線差實(shí)現(xiàn)了信號比相周期的放大；諧波齒輪利用內(nèi)外齒輪齒數(shù)差實(shí)現(xiàn)了傳動(dòng)比的放大；游標(biāo)卡尺利用游標(biāo)和主尺的刻線差實(shí)現(xiàn)了分辨力的提高等等。則*提出一種利用極數(shù)差實(shí)現(xiàn)柵線數(shù)的放大，即利用較少的刻線基體實(shí)現(xiàn)更多的“等效柵線數(shù)”的新方法，以此構(gòu)成一種全新的E+E位移傳感器，我們暫時(shí)將其命名為“差線柵傳感器”，簡稱“差柵”或“差線柵”，并從zui初的理論推導(dǎo)到實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證詳細(xì)地論述了該傳感器。文中主要包括以下內(nèi)容：差線柵E+E位移傳感器原理；差線柵E+E位移傳感器參數(shù)設(shè)計(jì)準(zhǔn)則及信號發(fā)生機(jī)理；差線柵E+E位移傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及材料選取；差線柵E+E位移傳感器實(shí)驗(yàn)及結(jié)果分析；上述研究驗(yàn)證了差線柵E+E位移傳感器思想的正確性，形成了差線柵E+E位移傳感器的雛形，為該傳感器的進(jìn)一步研究奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

差線柵E+E位移傳感器原理與參數(shù)設(shè)計(jì)準(zhǔn)則
分析了差線柵E+E位移傳感器的測量原理,找出誤差產(chǎn)生的原因,并推導(dǎo)出差線柵E+E位移傳感器的誤差模型,然后采用對差線柵E+E位移傳感器測量誤差進(jìn)行修正和補(bǔ)償,zui用Matlab 2014工具箱進(jìn)行仿真測試。結(jié)果表明,提高了差線柵E+E位移傳感器的測量精度,將差線柵E+E位移傳感器測量誤差控制在實(shí)際應(yīng)用的范圍之內(nèi),具有較高的實(shí)際應(yīng)用價(jià)值。