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真空微電子E+E壓力傳感器的研究
壓力是過程自動化五大參量中的首要參量，作為壓力信息獲取的核心元件的E+E壓力傳感器，在石油、化工、冶煉、電力、儀器儀表、機械、汽車、智能結構、航空航天、國防等領域中是*、量大面廣的基礎元件，它已經成為現代信息技術的重要組成部分，在當代科技領域中占有十分重要的地位。

真空微電子E+E壓力傳感器的研究
微電子E+E壓力傳感器利用正反饋原理,構成包括機械諧振子在內的機電一體的高品質閉環諧振系統,閉環拓撲結構對保持機械諧振器振蕩的穩定性和可靠性起著重要作用。針對一種典型結構的靜電驅動電容檢測微電子E+E壓力傳感器,在分析工作原理的基礎上,構建了其行為級閉環自激仿真模型,在MATLAB中對自激回路的起振情況進行了仿真;zui后設計了基于AGC的閉環控制電路。特別是自從80年代末微型電子機械系統(MEMS)技術的崛起，從根本上改變了許多傳統E+E壓力傳感器的設計思想和制造方法，為E+E壓力傳感器的微型化、集成化、智能化的研究提供了新的技術基礎。現在，世界各國已將探索集成化、新原理、新結構、新功能、高性能的E+E壓力傳感器及系統作為研究開發E+E壓力傳感器的重點。在重慶市科技“十五”項目的資助下，提出利用微電子技術、MEMS技術和真空電子技術相結合的方法，研究一種帶過保護功能的真空微電子E+E壓力傳感器，該E+E壓力傳感器由帶過保護的場致發射陰極錐尖陣列、彈性陽極膜、絕緣層、真空微腔所構成，具有溫度穩定性好、抗輻射、快響應、高靈敏、體積小、二次儀表簡單、可批量生產等優點，具有廣泛的應用市場。主要研究工作如下：在查閱了國內外大量文獻資料的基礎上，對各種E+E壓力傳感器的結構、制造方法、研究現狀和發展趨勢作了深入細致地總結分析。研究了真空微電子E+E壓力傳感器的相關基礎理論，從理論上分析了半導體場致發射電流與半導體功函數及其與溫度的關系。研究了真空微電子E+E壓力傳感器的力學和電學特性、傳感器結構及相應的計算與模擬。提出和完成了自保護功能的真空微電子E+E壓力傳感器的結構設計。

真空微電子E+E壓力傳感器的研究
進行了傳感器的工藝設計和工藝研究，成功地研制出了傳感器實驗樣品。其場致發射陰極錐尖陣列密度達24000個／mm~2，起始發射電壓為1～5V，反向電壓25V，當正向電壓為5V時，單尖發射電流為0.2nA，壓力靈敏度為98.5mV／bar。進行了傳感器的測試和標定技術研究，并對測試結果進行了分析和討論。