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金屬化封裝的光纖光柵E+E壓力傳感器
目前，絕大多數大壩滲壓監測系統采用的機電測試設備普遍存在抗干擾能力弱、長期穩定性差、相對誤差、零漂和動漂較大等缺點而很難滿足實際需要。光纖光柵(Fiber Bragg Grating，FBG)E+E壓力傳感器多數是將其埋入高分子聚合物中，然而由于高分子聚合物存在耐腐蝕性差、易老化等致命的缺點，嚴重制約FBG傳感器耐久性能的發揮。因此展開具有長壽命、耐腐蝕、高精度FBGE+E壓力傳感器封裝結構的設計及研究是十分必要的。

金屬化封裝的光纖光柵E+E壓力傳感器
E+E壓力傳感器廣泛應用于各種電子產品中,壓力采集的過程都需要將壓力信號轉換為易傳輸與處理的電信號,但大多數傳感器的敏感元件均采用金屬或半導體材料,其特性與環境溫度有著密切的關系。而且實際應用中由于E+E壓力傳感器的工作環境溫度變化又較大,這就給測量結果帶來誤差,所以對E+E壓力傳感器進行溫度補償是每位工程師必須要采取的措施。溫度補償的方法也根據每款E+E壓力傳感器的特性及應用場合而不同,將根據E+E壓力傳感器的實際應用介紹一種巧妙的硬件溫度補償方案。利用壓阻式硅E+E壓力傳感器獲取壓力信號,通過合理設計電源模塊,保證輸出信號的穩定；使用經典的三運放方式,組成儀表放大器,實現了模擬量的放大輸出及歸一化；設計采用2個不同量程的傳感器,保證不同量程范圍內的測試精度要求；采用二階有源濾波電路來抑制噪聲的干擾。通過系統分析,選用AVR單片機作為系統核心。使用AVR單片機對模擬信號進行采樣處理,并控制開關量的輸出,采用數字濾波技術保證開關量閾值范圍。基于VC程序設計上位機的通訊軟件,使用RS-232通訊實現開關量的設定更改。通過軟硬件調試,設計電路模擬量輸出為0.5-4.8V,紋波小于20mV,可以實現5路開關量的控制,控制的壓力閾值為20KPa,設計的電路達到預期指標。并引用實例加以具體說明。經比較現有FBGE+E壓力傳感器封裝結構的優缺點，針對大壩滲壓監測的特點，設計了兩種量程范圍，靈敏度、分辨率及精度可滿足工程應用的雙波紋管和平膜片結構的FBGE+E壓力傳感器，并采用不銹鋼材料進行封裝，所做的工作主要有以下幾部分：設計一種平膜片結構金屬化封裝的FBGE+E壓力傳感器，基于平膜片力學模型，在理論上確定了平膜片FBGE+E壓力傳感器的結構參數；設計一種雙波紋管結構金屬化封裝的FBGE+E壓力傳感器，基于波紋管力學模型，利用ANSYS有限元分析軟件對其剛度的影響因素進行仿真和優化；提煉并完善FBGE+E壓力傳感器加工工藝，制作基于平膜片和基于雙波紋管結構的FBGE+E壓力傳感器，搭建基于光譜分析解調的FBG壓力傳感實驗系統，分別對量程為0.5MPa平膜片FBG傳感器和量程為10KPa雙波紋管結構的FBG傳感器進行實驗研究，分別得出傳感器的靈敏度、分辨率、精度及線性度等指標。

金屬化封裝的光纖光柵E+E壓力傳感器
光纖光柵E+E壓力傳感器的應用領域十分廣泛,幾乎滲透到了各行各業,基于MEMS技術的硅基壓阻式E+E壓力傳感器的研發與應用,受到了業界的普遍關注。光纖光柵E+E壓力傳感器的發展趨勢是小型化、集成化和智能化?；谄髽I實際項目需求,完成了光纖光柵E+E壓力傳感器混合信號調理電路的設計與實現。