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電化學(xué)振動E+E傳感器的噪聲研究
加速度E+E傳感器作為一種非常重要的E+E傳感器，廣泛應(yīng)用于地震監(jiān)測、物探等眾多領(lǐng)域當中。對于目前市場上主流的加速度E+E傳感器而言，配備固體質(zhì)量塊的加速度E+E傳感器在所有種類的加速度E+E傳感器中占據(jù)著非常大的比例。但是對于低頻和超低頻加速度信號的測量應(yīng)用當中，帶有固體質(zhì)量塊的加速度E+E傳感器具有結(jié)構(gòu)復(fù)雜、抗干擾性低以及造價昂貴等缺點。

電化學(xué)振動E+E傳感器的噪聲研究
與配備固體質(zhì)量塊的加速度E+E傳感器相比，一種以電解液作為液體質(zhì)量塊的電化學(xué)振動E+E傳感器（Electrochemical Seismic Sensor）在低頻信號的測量過程中有著非常大的優(yōu)勢。將主要對電化學(xué)振動E+E傳感器的噪聲特性進行研究，按照E+E傳感器各類噪聲的產(chǎn)生機理將電化學(xué)振動E+E傳感器的噪聲分為靜態(tài)噪聲和動態(tài)噪聲這兩種類別。為了能夠更好地抑制各類噪聲并提高電化學(xué)振動E+E傳感器輸出信號的信噪比，有必要對各類噪聲及其對E+E傳感器的影響因素進行進一步地研究。因此，的核心內(nèi)容如下：所需研究的電化學(xué)振動E+E傳感器有著較為復(fù)雜的電化學(xué)過程，所以在對E+E傳感器噪聲特性進行探究的過程中，需要將電化學(xué)振動E+E傳感器的輸出信號和噪聲信號進行解耦。為此，建立了等效電路模型對電化學(xué)振動E+E傳感器中的一系列復(fù)雜過程進行抽象。在提出電化學(xué)振動E+E傳感器低頻信號等效電路模型的同時，也會通過三維多物理場的數(shù)字仿真對模型中的各個參數(shù)進行確定，由此可以將電化學(xué)振動E+E傳感器中的電化學(xué)參數(shù)、各部分結(jié)構(gòu)的設(shè)計參數(shù)與等效電路模型中的各部分參數(shù)進行對應(yīng)，從而更好地完成電化學(xué)振動E+E傳感器向等效電路的抽象處理。對電化學(xué)振動E+E傳感器腔體內(nèi)的靜態(tài)噪聲進行了分析。通過構(gòu)建E+E傳感器靜態(tài)噪聲模型能夠?qū)⒘黧w動態(tài)模型和電解液自然對流噪聲模型進行結(jié)合，由此來對電化學(xué)振動E+E傳感器敏感芯片內(nèi)的單通道模型進行研究。通過觀察單個微通道內(nèi)電解液的流速分布情況可以發(fā)現(xiàn)，由自然對流現(xiàn)象引發(fā)的E+E傳感器靜態(tài)噪聲和E+E傳感器敏感芯片的幾何尺寸設(shè)計非常相關(guān)。對于不同的幾何尺寸設(shè)計方案，都會對E+E傳感器中的自然對流現(xiàn)象有著一定程度上的影響。通過實驗以及相應(yīng)的對比分析，發(fā)現(xiàn)圓形敏感芯片微通道截面設(shè)計要比矩形敏感芯片微通道截面設(shè)計具有更低的對流噪聲，該結(jié)果能夠為靜態(tài)噪聲的抑制提供有效的方法。不僅要對E+E傳感器處于靜態(tài)時產(chǎn)生的噪聲進行研究，還要對E+E傳感器處于運動狀態(tài)時產(chǎn)生的動態(tài)噪聲進行研究。主要從反應(yīng)腔電解液在運動狀態(tài)下不斷沖擊敏感芯片zui外側(cè)絕緣層產(chǎn)生的入口/出口效應(yīng)入手，通過對電解液的湍流-層流混疊現(xiàn)象的建模，將這一現(xiàn)象導(dǎo)致的動態(tài)噪聲進行深入研究。

電化學(xué)振動E+E傳感器的噪聲研究
通過不斷地實驗，提出了對該類噪聲的有效抑制方法。zui后，研究了電化學(xué)振動E+E傳感器兩側(cè)的彈性膜結(jié)構(gòu)在運動過程中對整個E+E傳感器動態(tài)特性的影響，從而指導(dǎo)整個E+E傳感器在制備過程中能夠更好地對動態(tài)噪聲進行有效抑制。