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美國E+E壓力傳感器力學性能分析
傳感器技術是現代科學技術發展水平的重要標志，它與通信技術、計算機技術構成現代信息產業的三大支柱，涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等眾多行業。

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壓力傳感器是工業實踐中zui為常用的一種傳感器，其廣泛應用于各種工業自控環境，涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等眾多行業，下面就簡單介紹一些常用傳感器原理及其應用。另有醫用壓力傳感器。 彪賀（上海）儀器儀表有限公司，是一家集研發、生產、銷售為一體的壓力傳感器廠家，公司專業研制和生產傳感器、變送器、自動化儀器儀表、工業控制系統，也可以根據客戶的需求提供專業化的開發和測試解決方案。為確保我們的產品和技術服務的有效性、規范化和流程化，確保zui大限度的顧客滿意度，我們嚴格按照 ISO9000 質量保證體系來實現公司內部的嚴密管理程序和顧客端的靈活優化服務水平。在各種傳感器中，硅壓力傳感器是應用的一種。但目前使用的硅壓力傳感器主要是擴散硅壓力傳感器，其應變電橋采用P型擴散電阻，而應變膜是N型硅襯底，兩者之間是自然的PN結隔離，當工作溫度超過120℃時，應變電阻與襯底間的PN結漏電加劇，使傳感器特性嚴重惡化以至失效，因而不能在較高溫度環境下進行壓力測量，而石油、汽車、航天等領域的使用要求，使耐高溫壓力傳感器的研究成為必然。 采用SIMOX(separation by implanted oxygen)技術制作的二氧化硅介質隔離的SOl(silicon on insulator)力敏元件，取消了PN結，使壓力傳感器的耐高溫、隔離性能得到了提高。研究耐高溫微型壓力傳感器應變膜表面應力分布是本文的核心，圍繞這一核心，本文首先用彈性力學和板殼理論分析耐高溫微型壓力傳感器應變膜的應力分布，為力敏電阻在應變膜上的布置提供理論依據；其次用有限元分析方法和借助ANSYS仿真軟件，對耐高溫微型壓力傳感器應變膜進行了一系列的分析和計算機模擬，探討了應變膜表面應力分布、應力模型簡化的合理性和應變膜尺寸對應力差分布的影響，得到了直觀可靠的結果；然后研究了如何用ANSYS軟件實現彈性元件的結構優化，建立了耐高溫微型壓力傳感器彈性元件的力學模型、優化參數模型、優化數學模型，并且對設計空間進行了探討，用ANSYS的參數化設計語言編制了分析文件和優化控制文件，經計算獲得*結果，優化結果表明該方法對傳感器的彈性元件結構起到了很好的優化效果；并用ANSYS對*設計的輸出輸入關系及設計變量和目標函數的關系進行了數值模擬；zui后運用ANSYS軟件從模態分析、諧響應分析、瞬態結構動力學三個方面對傳感器彈性元件的動態特性進行了研究，得出傳感器彈性元件有良好的動態響應特性。

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主要創新點如下：一、用數值計算的方法證明了單層膜近似模型在一般工程應用中的合理性；二、對應變膜進行了深入的模擬分析：包括應變膜長寬比和厚度對耐高溫壓力傳感器理淪輸出的影響；三、利用ANSYS軟件實現應變膜的優化，提高了傳感器的靈敏度；四、采用MEMS軟件InliSuite中的AnsiE模擬了硅杯的各向異性腐蝕，驗證了設計方案的可行性。五、對傳感器彈性元件進行動態特性分析，得出傳感器彈性元件有良好的動態響應特性。